Review of microshutters for switchable glass

Par Conseil national de recherches du Canada

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DOITrouver le DOI : https://doi.org/10.1117/1.JMM.18.4.040901
AuteurRechercher : 1; Rechercher : 1; Rechercher : 1; Rechercher : 1; Rechercher : 1; Rechercher : 1
Affiliation
  1. Conseil national de recherches du Canada. Électronique et photonique avancées
FormatTexte, Article
Sujetglasses; electrodes; dielectrics; optical lithography; aluminum; manufacturing; microelectromechanical systems; camera shutters; reliability
Résumé
Date de publication
Maison d’éditionSPIE
Licence
Dans
Langueanglais
Publications évaluées par des pairsOui
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Identificateur de l’enregistrement7aef03bc-f157-4f22-a9f5-7a1d9d73def5
Enregistrement créé2020-12-01
Enregistrement modifié2020-12-15
Date de modification :