Novel lateral cavity MSM photodetectors on SOI substrates using silicides in Silicon-based and hybrid optoelectronics

Autre titre	SPIE
Auteur	Rechercher : Janz, Siegfried¹; Rechercher : Xu, D-X; Rechercher : Cheben, Pavel¹Identifiant ORCID : https://orcid.org/0000-0003-4232-9130; Rechercher : Delâge, André¹
Affiliation	Conseil national de recherches du Canada. Institut des sciences des microstructures du CNRC
Format	Texte, Article
Conférence	SPIE Photonics West, 2001, San Jose, CA
Numéro NPARC	12346182
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Identificateur de l’enregistrement	81e395a3-d7df-4c1f-bf41-10bd83f96fc3
Enregistrement créé	2009-09-17
Enregistrement modifié	2020-04-16