Two-stage plasma liner formation with thin films

Par Conseil national de recherches du Canada

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Affiliation
  1. Conseil national de recherches du Canada
FormatTexte, Article
Date de publication
Dans
Langueanglais
Publications évaluées par des pairsOui
Numéro du CNRCNRC-IRC-11585
Numéro NPARC20327193
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Identificateur de l’enregistrement87a400b2-3158-47af-8a1a-e5dd355b0abf
Enregistrement créé2012-07-18
Enregistrement modifié2024-03-22
Date de modification :