Two-stage plasma liner formation with thin films
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Affiliation |
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Format | Texte, Article |
Date de publication | 1984 |
Dans | |
Langue | anglais |
Publications évaluées par des pairs | Oui |
Numéro du CNRC | NRC-IRC-11585 |
Numéro NPARC | 20327193 |
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Identificateur de l’enregistrement | 87a400b2-3158-47af-8a1a-e5dd355b0abf |
Enregistrement créé | 2012-07-18 |
Enregistrement modifié | 2024-03-22 |
- Date de modification :