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Gouvernement du Canada / Government of Canada

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Imaging laser diffractometer for traceable grating pitch calibration

Par Conseil national de recherches du Canada

DOITrouver le DOI : https://doi.org/10.1088/0957-0233/18/2/S08
AuteurRechercher : ; Rechercher : ; Rechercher : ; Rechercher :
FormatTexte, Article
Date de publication
Dans
  • Measurement science and technology 18, nº February 2 (2007) : 375–383.
Langueanglais
Numéro du CNRCNRC-INMS-4040
Numéro NPARC8900416
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Identificateur de l’enregistrement88041e7b-c9be-4a05-92f5-af5b15f213c2
Enregistrement créé2009-04-22
Enregistrement modifié2020-05-10
Date de modification :