| Autre titre | Silicon Nitride and Silicon Dioxide Thin Films VII |
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| Auteur | Rechercher : Botton, G.; Rechercher : Romain, E.; Rechercher : Landheer, Dolf1; Rechercher : Wu, X.; Rechercher : Wu, M-Y; Rechercher : Lee, M.; Rechercher : Lu, Z-H |
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| Affiliation | - Conseil national de recherches du Canada. Institut des sciences des microstructures du CNRC
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| Format | Texte, Article |
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| Conférence | Spring ECS Meeting, March 23-April 1, 2003, Paris, France |
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| Numéro NPARC | 12346215 |
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| Exporter la notice | Exporter en format RIS |
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| Identificateur de l’enregistrement | 9dcca308-697d-453c-afdd-1f78b51a0bef |
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| Enregistrement créé | 2009-09-17 |
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| Enregistrement modifié | 2020-04-16 |
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