Directions in nanofabrication

Par Conseil national de recherches du Canada

DOITrouver le DOI : https://doi.org/10.1007/978-3-7091-0424-8_1
AuteurRechercher : 1; Rechercher : 1
Affiliation
  1. Conseil national de recherches du Canada. Institut national de nanotechnologie
FormatTexte, Chapitre de livre
Sujetatomic layer deposition; chemical mechanical polishing; electron beam lithography; nanoimprint lithography; nanofabrication technique
Résumé
Date de publication
Maison d’éditionSpringer, Vienna
Dans
Langueanglais
Publications évaluées par des pairsOui
Numéro NPARC21275852
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Identificateur de l’enregistrementabefe548-55a1-4eb0-b7cd-b7b9d5080d0b
Enregistrement créé2015-07-14
Enregistrement modifié2020-09-01
Date de modification :