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Equilibrium position of misfit dislocations in thin epitaxial films

Par Conseil national de recherches du Canada

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  1. (PDF, 657 Kio)
DOITrouver le DOI : https://doi.org/10.1088/0268-1242/18/4/320
AuteurRechercher : 1; Rechercher :
Affiliation
  1. Conseil national de recherches du Canada. Institut des sciences des microstructures du CNRC
FormatTexte, Article
Résumé
The role of the free surface in determining the equilibrium position of misfit dislocations in thin epitaxial films is considered. When the film is elastically stiffer than the substrate, the core of the dislocation is predicted to lie at some distance from the interface in the softer substrate. On the other hand, when the film is softer than the substrate, the core of the dislocation is always predicted to lie close to the interface.
Date de publication
Dans
  • Semiconductor Science and Technology 18, nº 4 (26 février 2003) : 307–311.
Langueanglais
Numéro NPARC12744594
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Identificateur de l’enregistrementad103f66-14d3-4497-9c57-8a104e0ce75d
Enregistrement créé2009-10-27
Enregistrement modifié2020-04-02
Date de modification :