ELNES and EDS Maing in HfOxNy Thin Films and AlN/TiN Superlattices

Par Conseil national de recherches du Canada

AuteurRechercher : ; Rechercher : ; Rechercher : ; Rechercher : 1; Rechercher : ; Rechercher :
Affiliation
  1. Conseil national de recherches du Canada. Institut des sciences des microstructures du CNRC
FormatTexte, Article
ConférenceMicroscopy and Microanalysis 2004, August 1-5, 2004, Savannah, Georgia, USA
Numéro NPARC12346697
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Identificateur de l’enregistrementbce7c3df-8385-4364-ab87-bfe79e8a7127
Enregistrement créé2009-09-17
Enregistrement modifié2020-04-16
Date de modification :