Low RF loss and noise of transmission lines on Si substrates using an improved ion implantation process

Autre titre	Microwave Symposium Digest
Auteur	Rechercher : Chan, K.; Rechercher : Chin, A.; Rechercher : McAlister, Sean¹; Rechercher : Chang, C.; Rechercher : Tseng, C.; Rechercher : Liang, V.; Rechercher : Chen, J.; Rechercher : Chien, S.; Rechercher : Duh, D.; Rechercher : Lin, W.
Affiliation	Conseil national de recherches du Canada. Institut des sciences des microstructures du CNRC
Format	Texte, Article
Conférence	2003 IEEE MTT-S International, 2003
Numéro NPARC	12346409
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Identificateur de l’enregistrement	bea86762-4b69-4d7b-bc9a-c5682dc6b1b3
Enregistrement créé	2009-09-17
Enregistrement modifié	2020-04-16