Minimum profile ultrahigh vacuum gate valve based on linear/rotary motion feedthrough

Par Conseil national de recherches du Canada

DOITrouver le DOI : https://doi.org/10.1116/1.580000
AuteurRechercher : 1
Affiliation
  1. Conseil national de recherches du Canada. Institut Steacie des sciences moléculaires du CNRC
FormatTexte, Article
SujetDESIGN; MOLECULAR BEAMS; POSITIONING; REMOTE CONTROL; ULTRAHIGH VACUUM; VACUUM SYSTEMS; VALVES
Résumé
Date de publication
Dans
Numéro NPARC12334516
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Identificateur de l’enregistrementc485eed5-2a4e-4f4e-8b61-8d883d9760b7
Enregistrement créé2009-09-10
Enregistrement modifié2020-03-20
Date de modification :