| Auteur | Rechercher : Dobrowolski, J. A.1; Rechercher : Poitras, Daniel1; Rechercher : Cassidy, Tom1; Rechercher : Midwinter, Clive |
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| Affiliation | - Conseil national de recherches du Canada. Institut des sciences des microstructures du CNRC
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| Format | Texte, Article |
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| Conférence | Eighth Optical Society of America Topical Meeting on Optical Interference Coatings, Banff, Alberta, Canada, 15-20 July 2001 |
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| Résumé | A black layer coating for an Al/photoresist interface is described with a reflectance less than 0.1% for 413 nm s-polarized light incident at 25º. It is made of space-compatible materials and its RMS roughness is less than 15Å. |
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| Date de publication | 2001 |
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| Dans | |
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| Langue | anglais |
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| Numéro NPARC | 12346334 |
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| Identificateur de l’enregistrement | caf23a6e-abfd-4c75-b725-aac4a726bdcc |
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| Enregistrement créé | 2009-09-17 |
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| Enregistrement modifié | 2020-03-27 |
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