Thermal stability of platinum silicide insub-micron lines
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| Affiliation |
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| Format | Texte, Article |
| Conférence | 1995 MRS Fall Meeting, Symposium on Materials reliability issues in microelectronics V, San Francisco, California, USA, April 17-21, 1995 |
| Date de publication | 1995 |
| Dans | |
| Série | |
| Langue | anglais |
| Numéro NPARC | 12338466 |
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| Identificateur de l’enregistrement | d55688eb-7fbc-4fbe-9d5d-b5dea48d63e4 |
| Enregistrement créé | 2009-09-10 |
| Enregistrement modifié | 2020-04-29 |
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