Thermal stability of platinum silicide insub-micron lines

Par Conseil national de recherches du Canada

AuteurRechercher : 1; Rechercher : 1; Rechercher : 1; Rechercher :
Affiliation
  1. Conseil national de recherches du Canada. Institut des sciences des microstructures du CNRC
FormatTexte, Article
Conférence1995 MRS Fall Meeting, Symposium on Materials reliability issues in microelectronics V, San Francisco, California, USA, April 17-21, 1995
Date de publication
Dans
Série
Langueanglais
Numéro NPARC12338466
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Identificateur de l’enregistrementd55688eb-7fbc-4fbe-9d5d-b5dea48d63e4
Enregistrement créé2009-09-10
Enregistrement modifié2020-04-29
Date de modification :