Beam focusing characteristics of silicon microtips with an in-plane lens

Par Conseil national de recherches du Canada

DOITrouver le DOI : https://doi.org/10.1109/16.556161
AuteurRechercher : 1; Rechercher : ; Rechercher : ; Rechercher :
Affiliation
  1. Conseil national de recherches du Canada. Institut des sciences des microstructures du CNRC
FormatTexte, Article
Résumé
Date de publication
Dans
Langueanglais
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Numéro NPARC21264934
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Identificateur de l’enregistrementdaa68061-f651-4262-ac69-4f1124dcaba8
Enregistrement créé2013-03-21
Enregistrement modifié2020-03-20
Date de modification :