Low temperature epitaxy of Si/Si1-xGex heterostructures using a commercially available UHV-CVD reactor

Par Conseil national de recherches du Canada

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Affiliation
  1. Conseil national de recherches du Canada. Institut des sciences des microstructures du CNRC
  2. Conseil national de recherches du Canada. Institut des étalons nationaux de mesure du CNRC
FormatTexte, Article
Date de publication
Dans
Langueanglais
Numéro du CNRCNRC-INMS-1176
Numéro NPARC8897868
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Identificateur de l’enregistrementdd8719ea-7dbb-4f2a-aae4-637ee875490b
Enregistrement créé2009-04-22
Enregistrement modifié2020-03-20
Date de modification :