Fabrication and structural and optical properties of amorphous Si/SiO2 superlattices on (100)Si
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Affiliation |
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Format | Texte, Article |
Conférence | Materials Research Society Meeting, Symposium G, Structure and properties of multilayered thin films, San Francisco, California, USA, April 17-19, 1995 |
Date de publication | 1995 |
Dans | |
Série | |
Langue | anglais |
Numéro NPARC | 12338943 |
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Identificateur de l’enregistrement | e0c8e523-a057-4acd-a5e5-8085478d3790 |
Enregistrement créé | 2009-09-11 |
Enregistrement modifié | 2020-04-29 |
- Date de modification :