Growth and characterization of Si/SiGe strained-layer superlattices on bulk single-crystal SiGe and Si substrates

Par Conseil national de recherches du Canada

DOITrouver le DOI : https://doi.org/10.1016/S0022-0248(03)01018-2
AuteurRechercher : 1; Rechercher : ; Rechercher : 1; Rechercher : 2
Affiliation
  1. Conseil national de recherches du Canada. Institut des sciences des microstructures du CNRC
  2. Conseil national de recherches du Canada. Institut des étalons nationaux de mesure du CNRC
FormatTexte, Article
ISSN0022-0248
SujetA3. superlattices; A3. chemical vapor deposition processes; B1. Germanium silicon alloys
Résumé
Date de publication
Dans
Langueanglais
Identificateur10137063
Numéro du CNRCNRC-INMS-1086
Numéro NPARC5764553
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Identificateur de l’enregistremente118db86-e47d-41db-8b25-e790938198cc
Enregistrement créé2009-03-29
Enregistrement modifié2020-04-02
Date de modification :