DOI | Trouver le DOI : https://doi.org/10.1117/12.2267868 |
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Auteur | Rechercher : Alonso-Ramos, Carlos A.; Rechercher : Le Roux, Xavier; Rechercher : Benedikovic, Daniel; Rechercher : Vakarin, Vladyslav; Rechercher : Durán-Valdeiglesias, Elena; Rechercher : Pérez-Galacho, Diego; Rechercher : Cassan, Eric; Rechercher : Marris-Morini, Delphine; Rechercher : Cheben, Pavel1Identifiant ORCID : https://orcid.org/0000-0003-4232-9130; Rechercher : Vivien, Laurent |
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Affiliation | - Conseil national de recherches du Canada. Dispositifs médicaux
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Format | Texte, Allocution |
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Conférence | SPIE Microtechnologies, May 8-10, 2017, Barcelona, Spain |
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Résumé | The large transparency window of silicon (1.1 - 8 μm wavelength range) makes it a promising material for the implementation of on-chip sensors operating over an ultra-wide wavelength range. However, the implementation of the silicon-on-insulator platform is restricted by the absorption of buried oxide layer for wavelengths above 4 μm. Here, we report our advances in development of silicon waveguides for broadband operation extending from near- to mid-infrared wavelengths. We present suspended silicon waveguides that exploit a novel periodic corrugation approach to circumvent the buried oxide absorption problem and provide effective single mode operation simultaneously for near- and mid-infrared wavelengths. |
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Date de publication | 2017-06-16 |
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Maison d’édition | Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers (SPIE) |
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Dans | |
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Série | |
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Langue | anglais |
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Publications évaluées par des pairs | Oui |
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Numéro NPARC | 23002297 |
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Identificateur de l’enregistrement | e26a94ae-38ae-4b36-bc58-7f5bae3b7190 |
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Enregistrement créé | 2017-10-12 |
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Enregistrement modifié | 2021-04-23 |
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