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Si1-x-yGexCy Alloy Growth by Electron Cyclotron Resonance Plasma-Assisted Si Molecular Beam Epitaxy

Par Conseil national de recherches du Canada

DOITrouver le DOI : https://doi.org/10.1016/S0921-5107(01)00802-9
AuteurRechercher : 1; Rechercher : 1; Rechercher : ; Rechercher : 1; Rechercher : 1
Affiliation
  1. Conseil national de recherches du Canada. Institut des sciences des microstructures du CNRC
FormatTexte, Article
Date de publication
Dans
  • Materials Science & Engineering B 89, nº 1-3 (2002) : 296–302.
Numéro NPARC12744560
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Identificateur de l’enregistremente3d988bc-007f-442a-9677-a1ef2019c1be
Enregistrement créé2009-10-27
Enregistrement modifié2020-03-30
Date de modification :