Ultra-violet photoenhanced wet etching of GaN in K2S2O8 solution

Par Conseil national de recherches du Canada

DOITrouver le DOI : https://doi.org/10.1063/1.1352684
AuteurRechercher : 1; Rechercher : 2; Rechercher : 1; Rechercher : 1; Rechercher : 1
Affiliation
  1. Conseil national de recherches du Canada. Institut des sciences des microstructures du CNRC
  2. Conseil national de recherches du Canada. Institut Steacie des sciences moléculaires du CNRC
FormatTexte, Article
Date de publication
Dans
Langueanglais
Publications évaluées par des pairsOui
Numéro NPARC12327650
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Identificateur de l’enregistremente9349cd6-10ad-439a-aa82-b95c5cf63f2a
Enregistrement créé2009-09-10
Enregistrement modifié2023-04-17
Date de modification :