Electron-beam patterning of cobalt fluoride on 10-nm length scale
Electron-beam patterning of cobalt fluoride on 10-nm length scale
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Format | Texte, Article |
Conférence | 48th International Symposium of the American Vacuum Society, October 28th-November 2nd, 2001, San Francisco, California |
Résumé | |
Date de publication | 2001-10-30 |
Maison d’édition | American Vacuum Society |
Dans | |
Langue | anglais |
Publications évaluées par des pairs | Oui |
Publication du CNRC | Cette publication n’est pas du CNRCCe sont des publications qui ont été rédigées par un auteur du CNRC, mais avant que celui-ci soit employé du CNRC. |
Identificateur | SC-TuA11 |
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Identificateur de l’enregistrement | ec0cd87c-a2e4-4613-98b9-4d0133478ec2 |
Enregistrement créé | 2020-10-07 |
Enregistrement modifié | 2020-10-07 |
- Date de modification :