Photo-enhanced chemical wet etching of GaN

Par Conseil national de recherches du Canada

DOITrouver le DOI : https://doi.org/10.1016/S0921-5107(02)00323-9
AuteurRechercher : ; Rechercher : ; Rechercher : 1; Rechercher : ; Rechercher : 2; Rechercher : ; Rechercher :
Affiliation
  1. Conseil national de recherches du Canada. Institut des sciences des microstructures du CNRC
  2. Conseil national de recherches du Canada. Institut Steacie des sciences moléculaires du CNRC
FormatTexte, Article
Date de publication
Dans
Numéro NPARC12328468
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Identificateur de l’enregistrementf2065d26-7f77-4c21-90d8-124b0c4da676
Enregistrement créé2009-09-10
Enregistrement modifié2020-04-06
Date de modification :