High efficiency blazed fiber-chip grating coupler with interleaved trenches

Par Conseil national de recherches du Canada

DOITrouver le DOI : https://doi.org/10.1117/12.2178620
AuteurRechercher : ; Rechercher : ; Rechercher : 1Identifiant ORCID : https://orcid.org/0000-0003-4232-9130; Rechercher : 1; Rechercher : ; Rechercher : ; Rechercher : ; Rechercher : 1; Rechercher : 1; Rechercher : ; Rechercher :
Affiliation
  1. Conseil national de recherches du Canada. Institut des sciences des microstructures du CNRC
FormatTexte, Article
ConférenceSPIE Optics + Optoelectronics, April 13-15, 2015, Prague, Czech Republic
Sujetintegrated optics; coupling efficiency; DUV lithography; grating couplers; high-efficiency; silicon photonics; silicon thickness; SOI; SOI substrates; silicon wafers
Résumé
Date de publication
Maison d’éditionSPIE
Dans
Série
Langueanglais
Publications évaluées par des pairsOui
Numéro NPARC21276909
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Identificateur de l’enregistrementf34ba844-acd5-420b-afc9-df2bab8fd554
Enregistrement créé2015-11-10
Enregistrement modifié2020-04-22
Date de modification :