Large Q-factor Improvement for spiral inductors on silicon using proton implantation

Par Conseil national de recherches du Canada

DOITrouver le DOI : https://doi.org/10.1109/LMWC.2003.819383
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Affiliation
  1. Conseil national de recherches du Canada. Institut des sciences des microstructures du CNRC
FormatTexte, Article
Date de publication
Dans
Numéro NPARC12744407
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Identificateur de l’enregistrementf509704e-11ac-408f-aa54-b6375a6f2372
Enregistrement créé2009-10-27
Enregistrement modifié2020-04-02
Date de modification :