Hot Embossing Lithography: Release-Layer Characterization by Chemical Force Microscopy

Par Conseil national de recherches du Canada

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Affiliation
  1. Conseil national de recherches du Canada. Institut des matériaux industriels du CNRC
FormatTexte, Allocution
ConférenceMRS Spring Meeting, San Francisco, California, March 28-April 01, 2005
Date de publication
Langueanglais
Publications évaluées par des pairsOui
Numéro du CNRCNRCC 47933
Numéro NPARC15966876
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Identificateur de l’enregistrementf69d2f7a-5d6c-4730-902f-4a1b8ccfe139
Enregistrement créé2010-10-05
Enregistrement modifié2020-03-03
Date de modification :