| Auteur | Rechercher : Luo, H.; Rechercher : Ban, D.; Rechercher : Liu, Hui1; Rechercher : Springthorpe, Anthony1; Rechercher : Wasilewski, Zbigniew1; Rechercher : Buchanan, Margaret1; Rechercher : Glew, R. |
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| Affiliation | - Conseil national de recherches Canada. Institut des sciences des microstructures du CNRC
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| Format | Texte, Article |
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| Conférence | 11th Canadian Semiconductor Technology Conference, August 19, 2003, Ottawa, ON |
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| Numéro NPARC | 12346505 |
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| Exporter la notice | Exporter en format RIS |
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| Identificateur de l’enregistrement | f6e7a703-6a31-4ce5-ba4e-a9d4bd6d0571 |
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| Enregistrement créé | 2009-09-17 |
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| Enregistrement modifié | 2020-04-16 |
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