Vertically tapered waveguide spot size converters fabricated via a linewidth controlled grey tone lithography for InP-based photonic integrated circuits

Par Conseil national de recherches du Canada

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DOITrouver le DOI : https://doi.org/10.1364/OE.397489
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Affiliation
  1. Conseil national de recherches du Canada. Électronique et photonique avancées
FormatTexte, Article
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Maison d’éditionOSA
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Langueanglais
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Identificateur de l’enregistrement1e09bc67-a57f-47ba-930c-90c7c4d8cb3a
Enregistrement créé2022-07-20
Enregistrement modifié2022-07-20
Date de modification :